主要性能指标

炉室资料Puller Data
单晶直径Crystal diameter：12〞- 18〞
装料量Charge size：450kg
喉管直径Throat Diameter：28”~36”
主炉膛内径Main furnace Diameter：Φ1300mm
主炉膛高度Main furnace Height：1938mm

炉门开口尺寸 Pull Chamber Door Opening: 520mm×2800mm

喉管直径(Throat Diameter)：Φ500 mm

主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main: 221 cfm (6,260 l/min)

辅助真空泵抽速(Recommended) Aux: 60 cfm (1,700 l/min)

副室类型Deputy room type：全开门Full-door 

炉盖类型Lid Type：穹顶 Dome或扁平 Flat
磁场类型Field type：勾型、水平型（可选）hook type, horizontal type (optional)
有导流筒提升、激光测距、CCD控径
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩埚驱动单位Crucible drive unit
提升速度( Lifting speed)：0-4mm/min
最快提升速度(Fast Seed Lift Rate)：(≥150mm/min) 

行程 Stroke：800mm
转速 Rotation speed：0-20 rpm

籽晶驱动单位 Crystal drive unit

籽晶提升慢速(Seed Lift Rate):0-8 mm/mim

籽晶提升快速(Fast Seed Lift Rate):≥620 mm/min

籽晶行程(Seed Travel):4000 mm

籽晶旋转(Seed Rotation):0-30 rpm

厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380V±10%
频率（Frequency）:50/60 Hz
主变压器（Main Transformer）：320 KVA
副变压器(Subsidiary Transformer)：67 KVA
环境温度（Ambient Temperature）：5~40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature) 77°F (25℃)
最小流量（Minimum Flow Rate）：≥400 L/min
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：2.0-3.0 bar
主氩气流量（Mass Flow Control Max.)：100-200 L/min
压力(Pressure)：3.5-5 bar
压缩空气（Air）
极限真空(Ultimate Vacuum)：≤30m Torr
泄漏率(Leakage Rate)：≤40m Torr/h
可控压力范围(Controllable Pressure Scope)：10-50 Torr
推荐压力(Recommended Supply Pressure)：4-7 bar
消耗量(Consumption)：100 L/炉次

控制系统System Control
自动过程Automatic process
标准PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：8,311mm
宽 Width (W)：2,500mm
深 Depth (D)：3,424mm