主要性能指标

炉室资料 Puller Data
坩埚直径 Crucible  diameter：14〞- 18〞
单晶直径 Crystal diameter：4〞- 8〞
装料量 Charge size：60 kg
喉管直径 Throat Diameter：10 ”(254 mm)
主炉膛内径 Main furnace Diameter：￠1120 mm
主炉膛高度 Main furnace Height：1480 mm
炉门开口尺寸 Pull Chamber Door Opening： 11”×68”（280 mm×1727 mm）
主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main：221 cfm (6,260 1/min)
辅助真空泵抽速(Recommended) Aux：60 cfm (1,700 1/min)
排气方式Exhaust：底排气Exhaust end
副室类型Deputy room type：全开门Full-door
炉盖类型Lid Type：穹顶Dome
磁场类型Field type：勾型、水平型（可选）hook type, horizontal type (optional)
有导流筒提升、激光测距、CCD控径
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩埚驱动单位 Crucible drive unit
提升速度 Lifting speed：0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最快提升速度 Crucible Jog Speed：2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程Stroke：11.5〞(292 mm)
转速Rotation speed：0-20 rpm

籽晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度 Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度 Seed Jod Speed：20 in/min (508 mm/min)
转速 Rotation speed：0-50 rpm

厂务要求 Utilities
电源电压（Source Voltage）：380 V±10%
频率（Frequency）：50/60 Hz
加热功率(Heating Power）：260 KW底部加热5 0KW
环境温度（Ambient Temperature）：5~40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：78 gpm (295 1/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1 kg/cm²)  
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.))：200 slpm
吹扫流量 (Purge Flow)：100 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力 Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3 kg/cm²)
压缩空气（Air）
推荐压力 Recommended Supply Pressure：90 psi (6.3 kg/cm²)

控制系统 System Control
自动过程 Automatic process
标准PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸 Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：5,109mm
宽 Width (W)：1,702mm
深 Depth (D)：1,302mm