主要性能指标

炉室资料Puller Data
坩埚直径 Crucible  diameter： 14"-18"
单晶直径 Crystal diameter： 4"-8"
装料量 Charge size：120 kg
喉管直径 Throat Diameter：10" (254 mm)
主炉膛内径 Main furnace Diameter：Φ762 mm 

主炉膛高度 Main furnace Height：1067 mm 

炉门开口尺寸 Pull Chamber Door Opening： 11"×68"（280 mm×1727 mm）
主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main：148 cfm (4200 l/min)
辅助真空泵抽速(Recommended) Aux：21.2 cfm (600 l/min)
排气方式 Exhaust：底排气 Exhaust end
副室类型 Deputy room type：全开门 Full-door
炉盖类型 Lid Type：穹顶Dome 或扁平 Flat
磁场类型 Field type：勾型、水平型（可选）hook type, horizontal type (optional)
有导流筒提升、激光测距、CCD控径
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料 providing secondary feed

坩埚驱动单位 Crucible drive unit
提升速度 Lifting speed：0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最大行程 Total Crucible Travel：2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程 Stroke：11.5"(292 mm)
转速 Rotation speed：0-20 rpm (可逆)

籽晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min(508 mm/min)
转速Rotation speed：0-50 rpm （可逆）

厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380 V±10%
频率（Frequency）：50/60 Hz
加热功率(Heating Power）：165 KW底部加热50 kW
环境温度（Ambient Temperature）：5～40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25 ℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：50 gpm (185 L/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi （2.1 kg/cm²）
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)：100 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力Recommended Supply Pressure：75 psi(5.3 kg/cm²）
压缩空气（Air）
推荐压力Recommended Supply Pressure：90 psi(6.3 kg/cm²)

控制系统 System Control
自动过程 Automatic process
标准PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸 Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：5,620mm
宽 Width (W)：2,000mm
深 Depth (D)：2,795.8mm