主要性能指标

炉室资料Puller Data
坩埚直径Crucible  diameter：22〞- 28〞
单晶直径Crystal diameter：8〞- 16〞(200-400mm)
装料量Charge size：120-280kg
喉管直径Throat Diameter：16 ”(410mm)
主炉膛内径Main furnace Diameter：￠1200mm
主炉膛高度Main furnace Height：1500mm
炉门开口尺寸Pull Chamber Door Opening：17〞×93〞（450mm×2373mm）
主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main：221 cfm (6,260 l/min)
辅助真空泵抽速(Recommended) Aux：60 cfm (1，700 l/min)
排气方式Exhaust：底排气 Exhaust end
副室类型Deputy room type：全开门 Full-door
炉盖类型Lid Type：斜顶 Inclined top 
磁场类型Field type：勾型、水平型（可选）hook type, horizontal type (optional)
有导流筒提升、激光测距、CCD控径
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩埚驱动单位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed：0-4.7 in/hr (0-120 mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed：(>120 mm/min)
行程Stroke：18〞(457 mm)
转速Rotation speed：0-20 rpm(可逆)

籽晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min (508 mm/min)
转速Rotation speed：0-30 rpm(可逆)

厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380V±10%
频率（Frequency）：50/60 Hz
加热功率(Heating Power）：IGBT 200KW底部加热50KW
环境温度（Ambient Temperature）：5~40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature)： 77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：95 gpm (360 l/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1kg/cm²)  
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)：200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)：100 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3 kg/ cm²)
压缩空气（Air）
推荐压力Recommended Supply Pressure：90 psi (6.3 kg/ cm²)

控制系统System Control
自动过程Automatic process
标准PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：7022 mm
宽 Width (W)：2270 mm
深 Depth (D)：3090 mm