本控制系统以国际先进单晶炉控制核心技术为基础，融入单晶炉使用厂家多年的使用经验，设计、开发出的一套全新的更可靠、更安全实用的单晶生长炉。 1、采用高分辨率双CCD直径控制系统（200万像素以上），使单晶直径控制精度达到0.1mm以内； 2、高精度、高稳定的炉压控制系统，采用三只不同量程的压力真空...

单晶生长炉 1、流量开关---如果低流量切断加热器开关激活（30秒） 2、热敏开关（11处）--警报 3、炉内高/低压力，包括真空泵不起作用了—警报 4、籽晶提升行程上下限位—切断马达 5、坩埚提升行程上下限位—切断马达 6、生长炉内过压保护—机械泄压（三个位置：真空管道、副真空管道、底板上腔...

1、CCD控制，测量方法：测量精度达到0.1mm，单晶头尾直径偏差在1mm以内，完全兼容拉制<100>、<111>、<110>等规格的单晶 2、真空计采用分量程薄膜真空计（0~1Torr、0~100Torr、0~1000Torr），使压力测量精度更高，测量真空值不...