浙江晶泰半导体有限公司 致力于半导体设备领域里开创新局面!

加入收藏 | 设为首页 | 站点地图

服务热线:0577-62723111

产品说明 / Product Description位置: 首页 > 产品说明 > 单晶硅长晶炉系统安全措施

单晶硅长晶炉系统安全措施

发布者:晶泰电器发布日期:2017-06-27点击量:2573

单晶生长炉

1、流量开关---如果低流量切断加热器开关激活(30秒)
2、热敏开关(11处)--警报
3、炉内高/低压力,包括真空泵不起作用了—警报
4、籽晶提升行程上下限位—切断马达
5、坩埚提升行程上下限位—切断马达
6、生长炉内过压保护—机械泄压(三个位置:真空管道、副真空管道、底板上腔体分离)
7、所有直流和交流的电流保护—空气断路器
8、液压升降—当加热器打开时无效
9、加热器电源—当单晶生长炉打开时无效
10、炉筒提升—当拉升腔/炉盖未完全摇摆到一边时无效
11、液压系统回流保护—如果失去控制就要停止流动
12、液压泵的三相电源超载防护(包含真空泵)--可复位的断路器
13、不间断的电源供应器(UPS)---保护生长炉控制系统组件
14、四个马达驱动过电流保护---电子保护和熔断保护
15、紧急应急系统面板(开关板设置)-在PLC出现故障时提供多种控制项目,包括加热器功率、气体和真空阀、气体流量、坩埚/籽晶的位置、提升/旋转速率
16、模拟板-即使在控制台监测失败时,图形显示阀门状态、水量、氩气供应和过热位置
17、机械式真空计—测量室内的压力,当PLC、触摸屏或者电源故障时(若隔离阀关闭,只显示炉筒压力)
18、氩气旁通阀门—当功率出现问题时,允许氩气进入槽内
19、气动真空管路阀---断电时防止真空泵油回流及腔体倒吸
20、炉盖安全锁—防止炉内压力过大时喷出外面
21、隔离阀锁—保持隔离阀处在开启的状态
22、隔离阀协助弹开---松懈地关闭隔离阀
23、氩气压力开关—厂务低压力警报
24、信号隔离—在所有的数码和模拟输入和输出
25、15伏特的电源供应电流---电子防护
26、24伏特的电源供应电流---电子防护
27、炉盖挡板—使炉筒/拉升腔在炉身上连接成一体
28、炉筒导向定位杆—防止炉筒摇晃到热场
29、隔离阀位置开关—提供阀门位置反馈给控制系统
30、籽晶提升软件限制---当籽晶行程到达限制后切断马达
31、压缩空气开关—厂务低压力报警


加热器电源供应器(典型的)
主电力变压器输入超负载的防护---关闭单元
主电力变压器输出超负载的防护—熔断保险丝,变压器二次侧
热敏开启主电力变压器—关闭单元。
热敏开启功率半导体元件—关闭单元
电源过电流保护—警告,
接地保护—警告,切断电源输出