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单晶硅长晶炉控制特色

发布者:晶泰电器发布日期:2017-06-27点击量:3455

本控制系统以国际先进单晶炉控制核心技术为基础,融入单晶炉使用厂家多年的使用经验,设计、开发出的一套全新的更可靠、更安全实用的单晶生长炉。

1、采用高分辨率双CCD直径控制系统(200万像素以上),使单晶直径控制精度达到0.1mm以内;
2、高精度、高稳定的炉压控制系统,采用三只不同量程的压力真空计,配合高精度调节阀,使压力控制精度更高更准更稳定;
3、一键式全自动控制,无需很专业经验的拉晶人员即可快速完成操作,从“抽真空、检漏、压力化、化料、稳定、稳定/籽晶浸入、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉冷却”整个拉晶过程实现全自动一键式控制;
4、工艺参数编辑、修改提供两种模式,使用者可自行选择:
 1) 可由个人PC上进行编辑、修改后直接下传到工业 PLC;
 2) 可在工业PLC上直接进行编辑、修改并保存,并可上传到个人PC进行备份; 方便客户更直观的进行工艺参数管理。
5、独特的设备维护界面,数字、模拟量I/O一目了然,并进行实时监控,在设备出故障时,可通过维护I/O监控界面快速的判断故障所在位置,提高维护效率;
6、增加“隔离、清洗”自动程序,在拉晶过程中发生断苞吊出或再加料过程中完成自动操作,使操作更安全、方便;
7、采用高精度编码器替代通用的电位器位置控制,使籽晶行程、坩埚行程位置控制精度更高、更安全;
8、具有晶体长度及重量双重控制,使拉晶过程更安全、可靠;
9、可根据客户要求全面兼容抽真空三阀、二阀控制系统;
10、过程曲线可根据拉晶不同状态上客户自行选择,可实时同时监控5条曲线;
11、拉晶过程中各数据及其变化的历史均以电子文档的形式记录在案,方便客户进行分析及工艺修改,实现生产档案管理;
12、采用高精度红外高温计,控制精度达到0.1SP
13、水流量检测报警系统,为单晶炉的安全运行提供了保障;
14、氩气自动控制系统,可根据工艺来设定氩气流量,若炉子压力出现异常时自动切断氩气注入,防止炉子正压而造成的安全隐患;
15、CE控制柜,在外部供电停止时,除加热器电源外,UPS整机供电系统,保证了自动程序不会由于电力中断而停止运行,不会因短暂的停电而使单晶炉自动过程复位带来的损失;同时也给停电后采取的应急措施提供了宝贵的时间。
16、数据采集采用以太网传输,免费为客户提供以太网接口,方便客户进行网络监控及工艺传输。

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