主要性能指标

炉室资料Puller Data
坩埚直径Crucible  diameter：  20〞- 24〞
单晶直径Crystal diameter：  8〞- 12〞(200-300mm)
装料量Charge size：  90-150kg
喉管直径Throat Diameter：  14 ”(356mm)
主炉膛内径Main furnace Diameter： ￠1120mm
主炉膛高度Main furnace Height： 1480mm
炉门开口尺寸Pull Chamber Door Opening： 15”×82”（380mm×2082mm）
主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main： 221 cfm (6,260 l/min)
辅助真空泵抽速(Recommended) Aux： 60 cfm (1700 l/min)
排气方式Exhaust：底排气Exhaust end
副室类型Deputy room type：全开门Full-door
炉盖类型Lid Type：穹顶Dome
磁场类型Field type：勾型、水平型（可选）hook type, horizontal type (optional)
有导流筒提升、激光测距、CCD控径
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩埚驱动单位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed：  0-10 in/hr (0-254mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed：2.0 in/min (50.8mm/min)
行程Stroke：  18〞(457mm)
转速Rotation speed：   0-20 rpm

籽晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min (508/min)
转速Rotation speed：0-50 rpm

厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）： 380V±10%
频率（Frequency）： 50/60 Hz
加热功率(Heating Power）： 260KW底部加热50KW
环境温度（Ambient Temperature）： 5~40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature) ：77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）： 78 gpm (295 1/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）： 30 psi (2.1kg/cm2)  
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)： 200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)： 100 slpm
合计（Facility Total）： 300 slpm
推荐压力(Recommended Supply Pressure)： 75 psi (5.3kg/ cm2)
压缩空气（Air）
推荐压力(Recommended Supply Pressure)： 90psi (6.3kg/ cm2)

控制系统System Control
自动过程Automatic process
标准PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：6722mm
宽 Width (W)：2250mm
深 Depth (D)：3148mm