主要性能指标

炉室资料Puller Data
坩埚直径Crucible Diameter：22”-32”  
单晶直径Crystal Diameter：8”-12”
装料量Charge Size：450 kg
炉筒直径Vessel Diameter：1200 mm
喉管直径Throat Diameter：355mm

坩埚驱动单位Crucible drive unit
提升速度Lifting Speed：0-10 in / hr(0-254mm/hr)
最大行程Total Crucible Travel： 20”( 508 mm)
转速Rotation Speed:0-20 rpm(std option)最大可达30rpm

籽晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度Lifting Speed： 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
转速Rotation Speed： 0-50 rpm

厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380 V±10%
频率(Frequency)：50 Hz
加热功率（Heating Power）：250 KW预留双加热器
环境温度（Ambient Temperature）：5~40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature)：25℃
最小流量(Minimum Flow Rate)：350 L/min
入口出口压力差(Diff.Supply Pressure)：＞1.5kg/cm²
主氩气流量Mass Flow Control(Max.)：200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)：100 slpm
合计(Facility Total)：300 slpm
推荐压力(Recommended Supply Pressure)：＞4.5 kg/cm² 
压缩空气(Air)
推荐压力(Recommended Supply Pressure)：＞5.5 kg/cm²

控制系统System Control
全自动生长控制过程Automatic Growing Control Process
标准PLC/PC控制Control by PLC / PC：equipped as standard

选项Options  
多晶硅进料系统 Polysilicon Feeding System
真空泵Vacuum Pumping          
真空过滤系统Vacuum Filter System
取晶车 Crystal Cart
坩埚装卸系统 Crucible Handing System

外形尺寸Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：8,784.6 mm
宽 Width (W)：1,580 mm
深 Depth (D)：2,150 mm