主要性能指标

炉室资料Puller Data
坩埚直径Crucible diameter：22"- 28"
单晶直径Crystal diameter：8"- 12"
装料量Charge size：350 kg
喉管直径Throat Diameter：14 "(356mm)
直径偏差率：Diameter deviation rate：1.5 mm
主炉膛内径Main furnace Diameter：Φ1100 mm
主炉膛高度Main furnace Height：1450 mm(上1050 mm,下400 mm)
漏率：≤10 mtorr/hour
冷炉极限真空度：≤23 mtorr
全自动长晶过程：
最大拉晶长度：≤3600 mm
排气方式Exhaust：底排气Exhaust end
AR进气介面：1.喉部两侧  2.副炉室上方
Ar流量控制：MFC 4-200 slpm

坩埚驱动单位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed：0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed：2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程Stroke：19"(480 mm)
转速Rotation speed：0-20 rpm

籽晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min (508 mm/min)
转速Rotation speed：0-50 rpm

厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380 V±10%
频率（Frequency）：50/60 Hz
加热功率(Heating Power）：160 KW底部加热50 KW
环境温度（Ambient Temperature）：5~40
相对湿度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：78 gpm (295 l/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1 kg/cm²)  
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)：200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)：100 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3 kg/ cm²)
压缩空气（Air）
推荐压力Recommended Supply Pressure：90psi (6.3 kg/ cm²)

控制系统System Control
自动过程Automatic process
标准PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
总高度 (closed）：8632mm
宽 Width (W)：1580mm
深 Depth (D)：2060mm