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中国半导体产业链发展缺乏上游设备

发布者:晶泰半导体发布日期:2017-06-28点击量:1403

集成电路作为信息产业的基础和核心,是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业。2014年6月公布的《国家集成电路产业发展推进纲要》将发展集成电路产业上升为国家战略,并对上游材料与设备提出了具体发展目标。同时已经启动的1200亿规模的国家集成电路产业发展投资基金,在重点扶持晶圆设计、制造、封装领域的同时,也将扶持上游生产设备领域。
300 毫米(12英寸)半导体硅片是我国半导体集成电路产业战略发展中亟待解决的、对提升全行业技术能级起支撑作用并具有很大产业化前景的关键技术和核心技术,具有举足轻重的全局性影响力。而作为生产300毫米半导体硅片的关键设备单晶炉装备现今全部依赖国外进口。半导体产品的加工工序多,晶圆制造是非常复杂的一道工序之一,所需制造装备单晶生长炉设备领域壁垒较高。
浙江晶泰半导体有限公司是专业制造和研发半导体晶体材料设备的高新装备制造企业,中国电子专用设备工业协会、中国半导体材料协会和国际半导体协会会员单位。公司所有产品均拥有自主“YTSEMI” 品牌,其关键技术均为自主研发,处在国内高水平,并获得国内几十项发明及实用新型先进专利,具有较强的研发能力。产品有直拉单晶硅生长炉,蓝宝石生长炉,硅晶体区溶炉、半导体硅片倒角机等半导体材料设备,广泛应用于电子集成电路,半导体材料,LED外延片,光伏新能源等产业。
为迎合国家对于大直径300毫米硅片的发展需求,公司研发团队已经具备完成国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之“300mm硅单晶直拉生长的装备”的能力,以及为得到更完美单晶的磁场系统开发。已于2016年研制成功,并已成为国内批量生产并销售300毫米大直径单晶炉的企业。
目前公司计划在2017年研发更大直径450毫米(18英寸)硅棒的的单晶炉设备。
集成电路作为信息产业的基础和核心,是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业。2014年6月公布的《国家集成电路产业发展推进纲要》将发展集成电路产业上升为国家战略,并对上游材料与设备提出了具体发展目标。同时已经启动的1200亿规模的国家集成电路产业发展投资基金,在重点扶持晶圆设计、制造、封装领域的同时,也将扶持上游生产设备领域。
300 毫米(12英寸)半导体硅片是我国半导体集成电路产业战略发展中亟待解决的、对提升全行业技术能级起支撑作用并具有很大产业化前景的关键技术和核心技术,具有举足轻重的全局性影响力。而作为生产300毫米半导体硅片的关键设备单晶炉装备现今全部依赖国外进口。半导体产品的加工工序多,晶圆制造是非常复杂的一道工序之一,所需制造装备单晶生长炉设备领域壁垒较高。
浙江晶泰半导体有限公司是专业制造和研发半导体晶体材料设备的高新装备制造企业,中国电子专用设备工业协会、中国半导体材料协会和国际半导体协会会员单位。公司所有产品均拥有自主“YTSEMI” 品牌,其关键技术均为自主研发,处在国内高水平,并获得国内几十项发明及实用新型先进专利,具有较强的研发能力。产品有直拉单晶硅生长炉,蓝宝石生长炉,硅晶体区溶炉、半导体硅片倒角机等半导体材料设备,广泛应用于电子集成电路,半导体材料,LED外延片,光伏新能源等产业。
为迎合国家对于大直径300毫米硅片的发展需求,公司研发团队已经具备完成国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之“300mm硅单晶直拉生长的装备”的能力,以及为得到更完美单晶的磁场系统开发。已于2016年研制成功,并已成为国内批量生产并销售300毫米大直径单晶炉的企业。
目前公司计划在2017年研发更大直径450毫米(18英寸)硅棒的的单晶炉设备。